干式真空泵

满足通用真空需求的领先技术。针对不同的要求和行业。

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EBARA ESR30N干式真空泵
来源: | 作者:Ebara真空泵维修 | 发布时间: 2021-02-07 | 15 次浏览 | 分享到:

Pumping Speed 50/60 Hz

CFM
L/min
M3/Hr

105
3000
180

Ultimate Pressure 60 Hz

mTorr
Pa
mBar

5.03*10-6
0.67
0.0067

Connection

Gas Inlet

NW 50

Gas Outlet

NW 40

Power at Ultimate Pressure

KW

1.7

Maximum Power

KW

3.5

Cooling Water Requirements

Min. Flow Rate
L/min

3.5

Bearing and Dilution N2

Bearing Seals
L/min

12

Cabinet Dimensions
LxWxH

inches
mm

29.9 x 15.7 x 18.0
760 x 400 x 458

Weight

lbs
kg

418
190